การเคลือบผิวแบบ PVD


ที่ฟูจิลอยให้บริการเคลือบผิวแบบ PVD ด้วย

การเคลือบผิวแบบ PVD เมื่อเปรียบเทียบกับแบบ CVD จะมีจุดเด่นคืออุณหภูมิขณะทำการเคลือบต่ำ คือต่ำกว่า 500°C

นอกจากนี้ยังมีการพัฒนาวิธีการเคลือบผิวด้วยฟิล์ม DLC เพื่อเคลือบบนเครื่องมือที่ผลิตในบริษัท ฟิล์มเคลือบมีสมบัติเด่นคือความลื่นสูง และเกิดการยึดติดต่ำ

ฟิล์ม DLC มี 2 ชนิด กรณีที่ต้องการความแข็งแรงของการยึดเกาะสูงจะเคลือบด้วย DLC-I กรณีที่ต้องการลดสัมประสิทธิ์ความเสียดทานจะเคลือบด้วย DLC-R

และให้บริการเคลือบผิวเครื่องมือด้วยฟิล์ม PVD (CrN, TiN, Ti(C,N)) ด้วยวิธี Arc Ion Plating (AIP)

วิธี AIP เป็นวิธีการเคลือบผิวที่ทำให้แหล่งกำเนิดสารเคลือบ ซึ่งเป็นขั้วแคโธดกลายเป็นไอออนด้วยการอาร์กด้วยไฟฟ้า ภายในแชมเบอร์ที่เป็นสูญญากาศ ไอออนที่เกิดขึ้นจะไปเกาะที่ผิวชิ้นงานกลายเป็นชั้นฟิล์ม วิธีนี้มีข้อดีได้แก่ ติดตั้งและวางตำแหน่งชิ้นงานง่าย เป็นต้น